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產(chǎn)品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD桌面小型離子濺射儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
桌面小型離子濺射儀本儀器主要適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍膜導(dǎo)電膜),儀器操作簡(jiǎn)單方便,是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣的儀器
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 氬氣 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺(tái)尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏 |
| 樣品倉(cāng)尺寸 | 160x170mm | 靶材尺寸 | φ50mm |
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
桌面小型離子濺射儀，
離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對(duì)于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí)，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對(duì)試樣表面進(jìn)行清潔，之后試樣復(fù)原，再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。
離子濺射儀在掃描電鏡（SEM）的樣品噴金方便為專(zhuān)用的儀器，樣品的導(dǎo)電性及導(dǎo)熱性可以非常有效的提供，使恒沉積速率得到確保，使等離子體對(duì)樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少，使掃描電鏡觀(guān)測(cè)結(jié)果得到了較為顯著的提高。
桌面小型離子濺射儀技術(shù)參數(shù)；
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類(lèi)型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺(tái) | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測(cè)量 | 皮拉尼真空計(jì)（已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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