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測試夾具要求：可實現(xiàn)XYZ移動； 高低溫探針臺的詳細介紹測試腔：同時滿足靜態(tài)/動態(tài)測試，304不銹鋼材質，可在紫外燈下保證氣密性測試； 測試樣品數(shù)：同時測試8個樣品，可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試；

分子泵≤10-3Pa真空探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。

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真空探針臺測試設備 高低溫測試臺探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調節(jié)，其中X方向調節(jié)范圍：0－30mm；y方向調節(jié)范圍：0－20mm；z方向調節(jié)范圍：0－20mm；用戶可根據(jù)需要自行調節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行